特殊工藝芯片的流片需要匹配專業(yè)的晶圓廠資源,中清航科憑借多年積累,構(gòu)建起覆蓋特殊工藝的流片代理網(wǎng)絡(luò)。在 MEMS 芯片領(lǐng)域,與全球 MEMS 晶圓廠合作,可提供從晶圓鍵合、深硅刻蝕到釋放工藝的全流程流片服務(wù),支持壓力傳感器、微鏡、射頻 MEMS 等產(chǎn)品,流片后的器件性能參數(shù)偏差控制在 5% 以內(nèi)。針對(duì)化合物半導(dǎo)體,如 GaN、SiC 等,中清航科的技術(shù)團(tuán)隊(duì)熟悉材料特性與工藝要求,能為客戶提供襯底選擇、外延生長(zhǎng)參數(shù)優(yōu)化等專業(yè)建議,已成功代理新能源汽車用 SiC 功率器件的流片項(xiàng)目,幫助客戶將器件的導(dǎo)通電阻降低 15%。在光電子芯片領(lǐng)域,與專業(yè)光電器件晶圓廠合作,支持 VCSEL、DFB 激光器等產(chǎn)品的流片,波長(zhǎng)一致性控制在 ±1nm 以內(nèi)。中清航科專項(xiàng)團(tuán)隊(duì)代辦流片補(bǔ)貼申請(qǐng),獲批率提升40%。舟山XMC 40nmSOI流片代理
流片成本控制是設(shè)計(jì)企業(yè)關(guān)注的中心問題,中清航科通過(guò)規(guī)模采購(gòu)與工藝優(yōu)化實(shí)現(xiàn)成本優(yōu)化。其整合行業(yè)內(nèi) 500 余家設(shè)計(jì)公司的流片需求,形成規(guī)?;少?gòu)優(yōu)勢(shì),單批次流片費(fèi)用較企業(yè)單獨(dú)采購(gòu)降低 15-20%。同時(shí)通過(guò)多項(xiàng)目晶圓(MPW)拼片服務(wù),將小批量試產(chǎn)成本分?jǐn)傊炼鄠€(gè)客戶,使初創(chuàng)企業(yè)的首輪流片成本降低 60%,加速產(chǎn)品從設(shè)計(jì)到量產(chǎn)的轉(zhuǎn)化。流片過(guò)程中的工藝參數(shù)優(yōu)化直接影響芯片性能,中清航科組建了由 20 位工藝工程師組成的技術(shù)團(tuán)隊(duì),平均擁有 15 年以上晶圓廠工作經(jīng)驗(yàn)。在流片前會(huì)對(duì)客戶的 GDSII 文件進(jìn)行多方面審查,重點(diǎn)優(yōu)化光刻對(duì)準(zhǔn)精度、蝕刻深度均勻性等關(guān)鍵參數(shù),確保芯片電性能參數(shù)偏差控制在設(shè)計(jì)值的 ±5% 以內(nèi)。針對(duì)射頻芯片等特殊品類,還可提供定制化的工藝參數(shù)庫(kù),保障高頻性能達(dá)標(biāo)。浙江臺(tái)積電 MPW流片代理中清航科協(xié)助180nm轉(zhuǎn)55nm工藝,保留模擬特性偏差<3%。
流片過(guò)程中的技術(shù)溝通往往存在信息不對(duì)稱問題,中清航科憑借專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),搭建起高效的技術(shù)溝通橋梁。其團(tuán)隊(duì)成員平均擁有 12 年以上半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗(yàn),熟悉各大晶圓廠的工藝特點(diǎn)與技術(shù)要求,能準(zhǔn)確理解客戶的技術(shù)需求并轉(zhuǎn)化為晶圓廠可執(zhí)行的工藝參數(shù)。在與晶圓廠的溝通中,客戶進(jìn)行工藝細(xì)節(jié)談判,如特殊摻雜要求、光刻層數(shù)調(diào)整等,確??蛻舻脑O(shè)計(jì)意圖得到準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)。針對(duì)復(fù)雜技術(shù)問題,組織三方技術(shù)會(huì)議,邀請(qǐng)客戶與晶圓廠的工程師共同參與,高效解決問題。為幫助客戶提升技術(shù)能力,定期舉辦流片技術(shù)研討會(huì),邀請(qǐng)晶圓廠分享工藝進(jìn)展,去年累計(jì)培訓(xùn)客戶技術(shù)人員超過(guò) 1000 人次。
對(duì)于需要進(jìn)行失效分析的流片項(xiàng)目,中清航科建立了專業(yè)的失效分析合作網(wǎng)絡(luò)。與國(guó)內(nèi)前列失效分析實(shí)驗(yàn)室合作,提供從芯片開封、切片分析到 SEM/EDX 檢測(cè)的全流程服務(wù),能在 48 小時(shí)內(nèi)出具初步分析報(bào)告,72 小時(shí)內(nèi)提供完整的失效機(jī)理分析。其技術(shù)團(tuán)隊(duì)會(huì)結(jié)合流片工藝參數(shù),幫助客戶區(qū)分設(shè)計(jì)缺陷與工藝問題,并提供針對(duì)性的改進(jìn)建議,去年為客戶解決了 60 余起復(fù)雜的流片失效問題,平均縮短問題解決周期 80%。中清航科關(guān)注新興市場(chǎng)的流片需求,針對(duì)東南亞、南亞等地區(qū)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,建立了本地化服務(wù)團(tuán)隊(duì)。這些團(tuán)隊(duì)熟悉當(dāng)?shù)氐漠a(chǎn)業(yè)政策、市場(chǎng)需求與供應(yīng)鏈特點(diǎn),能為客戶提供符合當(dāng)?shù)貥?biāo)準(zhǔn)的流片方案,如針對(duì)印度市場(chǎng)的 BIS 認(rèn)證流片支持、東南亞汽車市場(chǎng)的本地化測(cè)試服務(wù)等。通過(guò)與當(dāng)?shù)鼐A廠、封測(cè)廠的合作,構(gòu)建區(qū)域化流片供應(yīng)鏈,將區(qū)域內(nèi)流片交付周期縮短至 10 天以內(nèi),助力客戶開拓新興市場(chǎng)。中清航科處理流片爭(zhēng)議,專業(yè)團(tuán)隊(duì)追償晶圓廠責(zé)任損失。
對(duì)于需要進(jìn)行車規(guī)級(jí)功率器件流片的客戶,中清航科提供符合 AEC-Q101 標(biāo)準(zhǔn)的流片代理服務(wù)。其與具備車規(guī)級(jí)功率器件生產(chǎn)資質(zhì)的晶圓廠合作,熟悉 IGBT、MOSFET 等功率器件的流片工藝,能為客戶提供芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、柵極氧化層優(yōu)化、終端結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等專業(yè)服務(wù)。在流片過(guò)程中,實(shí)施更嚴(yán)格的工藝控制與可靠性測(cè)試,如高溫柵偏測(cè)試、短路測(cè)試、雪崩能量測(cè)試等,確保產(chǎn)品滿足車規(guī)級(jí)要求。已成功代理多個(gè)車規(guī)級(jí) IGBT 的流片項(xiàng)目,產(chǎn)品通過(guò)了 AEC-Q101 認(rèn)證,應(yīng)用于新能源汽車的主逆變器與充電樁。中清航科的流片代理服務(wù)注重?cái)?shù)據(jù)安全,采用多層次的安全防護(hù)體系保護(hù)數(shù)據(jù)。網(wǎng)絡(luò)層面采用防火墻、入侵檢測(cè)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)加密傳輸?shù)燃夹g(shù),防止數(shù)據(jù)傳輸過(guò)程中的泄露與篡改;服務(wù)器層面采用虛擬化技術(shù)、訪問控制、數(shù)據(jù)備份與恢復(fù)等措施,確保數(shù)據(jù)存儲(chǔ)安全;應(yīng)用層面采用身份認(rèn)證、權(quán)限管理、操作日志記錄等功能,防止未授權(quán)訪問與操作。通過(guò)多層次防護(hù),確保數(shù)據(jù)的安全性與完整性,已通過(guò) ISO27001 信息安全管理體系認(rèn)證。中清航科支持10片工程批流片,快速驗(yàn)證設(shè)計(jì)修正。臺(tái)積電 28nm流片代理服務(wù)電話
中清航科流片含AEC-Q104認(rèn)證輔導(dǎo),周期縮短至8周。舟山XMC 40nmSOI流片代理
流片代理服務(wù)需要與客戶的研發(fā)流程深度融合,中清航科為此開發(fā)了靈活的服務(wù)對(duì)接模式。針對(duì)采用敏捷開發(fā)模式的客戶,提供快速響應(yīng)服務(wù),支持小批量、多頻次的流片需求,較短 2 周內(nèi)可啟動(dòng)新批次流片;針對(duì)采用瀑布式開發(fā)的客戶,提供全周期規(guī)劃服務(wù),從產(chǎn)品定義階段就介入,制定分階段流片計(jì)劃,包括工程樣片、試產(chǎn)、量產(chǎn)等階段。在系統(tǒng)對(duì)接方面,中清航科的流片管理系統(tǒng)可與客戶的 PLM、ERP 系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)自動(dòng)同步,減少人工錄入錯(cuò)誤。為方便客戶跟蹤項(xiàng)目,開發(fā)了移動(dòng)端 APP,客戶可隨時(shí)查看流片進(jìn)度、下載測(cè)試報(bào)告,實(shí)現(xiàn)全天候項(xiàng)目管理。舟山XMC 40nmSOI流片代理