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薄膜沉積的傳統(tǒng)方法一直是熱蒸發(fā),或采用電阻加熱蒸發(fā)源或采用電子束蒸發(fā)源。薄膜特性主要決定于沉積原子的能量,傳統(tǒng)蒸發(fā)中原子的能量*約0.1eV。IAD沉積導(dǎo)致電離化蒸汽的直接沉積并且給正在生長(zhǎng)的膜增加活化能,通常為50eV量級(jí)。離子源將束流從離子***指向基底表面和正在生長(zhǎng)的薄膜來(lái)改善傳統(tǒng)電子束蒸發(fā)的薄膜特性。薄膜的光學(xué)性質(zhì),如折射率、吸收和激光損傷閾值,主要依賴(lài)于膜層的顯微結(jié)構(gòu)。薄膜材料、殘余氣壓和基底溫度都可能影響薄膜的顯微結(jié)構(gòu)。如果蒸發(fā)沉積的原子在基底表面的遷移率低,則薄膜會(huì)含有微孔。當(dāng)薄膜暴露于潮濕的空氣時(shí),這些微孔逐漸被水汽所填充。 [3是種類(lèi)多、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的一類(lèi)光學(xué)薄膜。海安挑選光學(xué)膜報(bào)價(jià)
由于上述原因,鋁膜的應(yīng)用非常***。銀膜在可見(jiàn)光區(qū)和紅外區(qū)都有很高的反射率,而且在傾斜使用時(shí)引人的偏振效應(yīng)也**小。但是蒸發(fā)的銀膜用作前表面鏡鍍層時(shí)卻因下列兩個(gè)原因受到嚴(yán)重限制:它與玻璃基片的豁附性很差;同時(shí)易受到硫化物的影響而失去光澤。曾試圖使用蒸發(fā)的一氧化硅或氟化鎂作為保護(hù)膜,但由于它們與銀的赫附性很差,沒(méi)有獲得成功。所以通常*用于短期作用的場(chǎng)合或作為后表面鏡的鍍層。金膜在紅外區(qū)的反射率很高,它的強(qiáng)度和穩(wěn)定性比銀膜好,所以常用它作為紅外反射鏡。金膜與玻璃基片的附著性較差,為此常用鉻膜作為襯底層。如果在金膜的淀積過(guò)程中,輔之以離子束轟擊,則可顯著提高金膜與基片的附著力。啟東質(zhì)量光學(xué)膜供應(yīng)商例如采用減反射膜后可使復(fù)雜的光學(xué)鏡頭的光通量損失成十倍地減小;
光學(xué)功能膜由分層介質(zhì)構(gòu)成,通過(guò)界面?zhèn)鞑?shí)現(xiàn)光束調(diào)控,包括偏振片和相位差補(bǔ)償膜。其中偏振片通過(guò)選擇性透過(guò)特定偏振方向光波,相位差補(bǔ)償膜則用于修正光程差,二者是液晶顯示器實(shí)現(xiàn)顯像功能的關(guān)鍵組件 [1-2]?;A(chǔ)研究階段(19世紀(jì)初-20世紀(jì)初)德國(guó)、美國(guó)科學(xué)家建立光學(xué)薄膜基礎(chǔ)理論體系,促成減反射膜等初期產(chǎn)品問(wèn)世 [1]。2.工業(yè)化應(yīng)用階段(20世紀(jì)30年代-90年代)真空鍍膜技術(shù)突破推動(dòng)產(chǎn)品實(shí)用化,逐步應(yīng)用于攝影鏡頭、顯微鏡等光學(xué)儀器 [1]。
在工藝上,人們還缺乏有效的手段實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜淀積參量的精確控制,這樣,薄膜的生長(zhǎng)就具有一定程度的隨機(jī)性,薄膜的光學(xué)常數(shù)、薄膜的厚度以及薄膜的性能也就具有一定程度的不穩(wěn)定性和盲目性,這一切都限制了光學(xué)薄膜質(zhì)量的提高。就光學(xué)薄膜本身來(lái)說(shuō),除了光學(xué)性能需要提高,吸收、散射等光損耗需要減少之外,它的機(jī)械強(qiáng)度、化學(xué)穩(wěn)定性和物理性質(zhì)都需要進(jìn)一步改進(jìn)。在激光系統(tǒng)中,光學(xué)薄膜的抗激光強(qiáng)度較低,這是光學(xué)薄膜研究中**重要的問(wèn)題之一。下面介紹幾種常用的光學(xué)薄膜元件。圖3的a、b、c分別給出法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片的典型曲線(xiàn)。
平板型偏振膜主要是利用在斜入射時(shí)由電介質(zhì)反射膜兩個(gè)偏振分量的反射帶帶寬的不同而制成的。一般高反射膜,隨著入射角的增大,垂直分量的反射帶寬逐漸增大,而平行分量的帶寬逐漸減少。選擇垂直分量的高反射區(qū)、平行分量的高透過(guò)區(qū)為工作區(qū)則可構(gòu)成透過(guò)平行分量反射垂直分量的偏振膜,這種偏振膜的入射角一般選擇在基體的布儒斯特角附近。棱鏡型偏振膜工作的波長(zhǎng)范圍比較寬,偏振度也可以做得比較高,但它制備較麻煩,不易做得大,抗激光強(qiáng)度也比較低。平板型偏振片工作的波長(zhǎng)區(qū)域比較窄,但它可以做得很大,抗激光強(qiáng)度也比較高,所以經(jīng)常用在強(qiáng)激光系統(tǒng)中??梢允峭该鹘橘|(zhì),也可以是吸收介質(zhì);可以是法向均勻的,也可以是法向不均勻的。海門(mén)區(qū)本地光學(xué)膜報(bào)價(jià)
有時(shí)需要考慮一個(gè)光譜區(qū)域叫做寬帶分光膜;用于可見(jiàn)光的寬帶分光膜,又叫做中性分光膜。海安挑選光學(xué)膜報(bào)價(jià)
我們已經(jīng)知道透光度與鍍膜的折射率有關(guān),但是卻無(wú)關(guān)于它的厚度??墒俏覀?nèi)裟茉阱兡さ暮穸壬舷曼c(diǎn)功夫,會(huì)發(fā)現(xiàn)反射光A與反射光B相差 nc×2D 的光程差。如果nc×2D=(N+ 1/2)λ 其中 N= 0,1,2,3,4,5..... λ為光在空氣中的波長(zhǎng)則會(huì)造成該特定波長(zhǎng)的反射光有相消的效應(yīng),因此反射光的顏色會(huì)改變。例如,鍍膜的厚度若造成綠色光的相消,則反射光會(huì)呈現(xiàn)紅色的。市面上許多看似紅色鏡片的望遠(yuǎn)鏡都是用這個(gè)原理制作的。盡管如此,透射光卻沒(méi)有偏紅的現(xiàn)象。海安挑選光學(xué)膜報(bào)價(jià)
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