無(wú)塵車(chē)間的潔凈度等級(jí)依據(jù)ISO 14644國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分類(lèi),該標(biāo)準(zhǔn)定義了不同顆粒濃度下的等級(jí)體系。ISO等級(jí)從Class 1到Class 9(比較低潔凈),其中Class 1要求每立方米空氣中大于0.1微米的顆粒不超過(guò)10個(gè),而Class 9則允許高達(dá)10萬(wàn)個(gè)顆粒。具體應(yīng)用中,半導(dǎo)體工廠通常采用Class 1至5的潔凈環(huán)境,以確保芯片制造無(wú)瑕疵;制藥行業(yè)則側(cè)重于Class 5至7,用于無(wú)菌灌裝和生物安全實(shí)驗(yàn)室。等級(jí)劃分基于嚴(yán)格的測(cè)試方法,包括使用激光粒子計(jì)數(shù)器定期采樣空氣樣本,并結(jié)合統(tǒng)計(jì)學(xué)分析驗(yàn)證合規(guī)性。此外,標(biāo)準(zhǔn)還規(guī)定了溫度、濕度和振動(dòng)等輔助參數(shù)的控制范圍,以維護(hù)環(huán)境穩(wěn)定性。實(shí)施這些標(biāo)準(zhǔn)需要專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)和認(rèn)證,確保操作人員遵循規(guī)程。例如,在ISO Class 5環(huán)境中,每小時(shí)空氣換氣次數(shù)需達(dá)到數(shù)百次,使用高效過(guò)濾系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。這種標(biāo)準(zhǔn)化不僅提升了全球產(chǎn)業(yè)的一致性,還促進(jìn)了國(guó)際貿(mào)易的順暢。總之,ISO潔凈度等級(jí)系統(tǒng)為無(wú)塵車(chē)間提供了量化基準(zhǔn),是保障產(chǎn)品質(zhì)量和安全的關(guān)鍵框架。車(chē)間內(nèi)需維持相對(duì)相鄰區(qū)域的正壓或負(fù)壓,防止污染侵入或外泄。資陽(yáng)10000級(jí)無(wú)塵車(chē)間建設(shè)
在無(wú)塵車(chē)間施工完成后、工藝設(shè)備搬入前,必須進(jìn)行徹底的清潔和初步的功能測(cè)試。清潔工作需遵循嚴(yán)格的程序:首先清理大塊建筑垃圾,然后使用吸塵器進(jìn)行多輪吸塵(從吊頂?shù)綁γ嬖俚降孛妫?,接著使用無(wú)塵布蘸取適當(dāng)清潔劑(如IPA、中性清潔劑)擦拭所有表面(墻、頂、地、設(shè)備外表面、管道外壁等)。清潔應(yīng)分區(qū)域進(jìn)行,并不斷更換清潔工具,避免二次污染。同時(shí),啟動(dòng)HVAC系統(tǒng)進(jìn)行連續(xù)空吹(通常24-72小時(shí)),利用系統(tǒng)本身過(guò)濾懸浮粒子。在清潔后期,可進(jìn)行初步測(cè)試:如檢查各區(qū)域照度、噪聲水平;初步測(cè)試送風(fēng)量、房間壓差梯度是否大致符合設(shè)計(jì);進(jìn)行空調(diào)自控系統(tǒng)的初步聯(lián)調(diào);檢查水、氣、電等公用介質(zhì)的供應(yīng)是否正常。此階段是發(fā)現(xiàn)并解決安裝問(wèn)題的窗口期。武漢十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間工程無(wú)塵車(chē)間應(yīng)記錄并監(jiān)控關(guān)鍵區(qū)域的壓差變化。
現(xiàn)代無(wú)塵車(chē)間的HVAC系統(tǒng)離不開(kāi)先進(jìn)的控制策略和節(jié)能考量??刂葡到y(tǒng)需能精確調(diào)節(jié)送風(fēng)量(通常采用變頻風(fēng)機(jī))、冷熱量、加濕/除濕量,以維持恒定的溫濕度和壓差。關(guān)鍵區(qū)域需設(shè)置多點(diǎn)傳感器進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。為應(yīng)對(duì)巨大的能耗挑戰(zhàn),系統(tǒng)設(shè)計(jì)常融入多項(xiàng)節(jié)能技術(shù):如根據(jù)生產(chǎn)計(jì)劃或室內(nèi)負(fù)荷變化實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)新風(fēng)量(變新風(fēng)量控制);利用轉(zhuǎn)輪或溶液除濕進(jìn)行深度除濕以減少再熱需求;設(shè)置冷熱回收裝置(如轉(zhuǎn)輪式、板翅式熱交換器)回收排風(fēng)能量;采用高效電機(jī)和變頻器;分區(qū)控制不同潔凈等級(jí)區(qū)域。這些節(jié)能措施的管路、設(shè)備安裝同樣需要高精度,確保其功能有效實(shí)現(xiàn),在滿足嚴(yán)苛環(huán)境要求的同時(shí),明顯降低運(yùn)行成本。
無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)應(yīng)充分考慮未來(lái)的發(fā)展和擴(kuò)展需求。隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大和技術(shù)的更新,無(wú)塵車(chē)間可能需要進(jìn)行改造或擴(kuò)建。因此,在設(shè)計(jì)初期就應(yīng)預(yù)留足夠的空間和靈活性,以便于未來(lái)的升級(jí)和調(diào)整。例如,可以預(yù)先規(guī)劃額外的設(shè)備安裝位置,或者設(shè)計(jì)可移動(dòng)的隔斷墻,以適應(yīng)不同的生產(chǎn)需求。無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)還應(yīng)考慮到人員的舒適度和健康。長(zhǎng)時(shí)間在無(wú)塵車(chē)間工作可能會(huì)對(duì)員工的身心健康產(chǎn)生影響,因此設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)確保良好的工作環(huán)境。例如,可以設(shè)置休息區(qū)和更衣區(qū),提供舒適的座椅和儲(chǔ)物柜。此外,無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的照明和色彩設(shè)計(jì)也應(yīng)考慮到對(duì)員工情緒和效率的影響,創(chuàng)造一個(gè)宜人的工作氛圍。無(wú)塵車(chē)間新風(fēng)量需滿足人員健康和潔凈度要求。
無(wú)塵車(chē)間的能源供應(yīng)系統(tǒng)需保持穩(wěn)定。電力系統(tǒng)需采用雙回路供電,配備 UPS 不間斷電源,確保在突發(fā)停電時(shí)設(shè)備仍能正常運(yùn)行,避免因斷電導(dǎo)致生產(chǎn)中斷或產(chǎn)品損壞??照{(diào)系統(tǒng)的動(dòng)力設(shè)備需設(shè)置備用機(jī)組,當(dāng)主機(jī)組故障時(shí)自動(dòng)切換,保證溫濕度和潔凈度穩(wěn)定。壓縮空氣系統(tǒng)需進(jìn)行凈化處理,去除水分、油分和雜質(zhì),溫度需控制在 - 40℃以下,避免壓縮空氣帶入污染物,供氣壓力需保持穩(wěn)定,波動(dòng)范圍不超過(guò) ±0.02MPa,滿足設(shè)備用氣需求。能源系統(tǒng)需安裝監(jiān)控儀表,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電壓、壓力、流量等參數(shù),異常時(shí)自動(dòng)報(bào)警并啟動(dòng)應(yīng)急措施。操作臺(tái)面需平整無(wú)縫、耐化學(xué)品腐蝕。湖北10級(jí)無(wú)塵車(chē)間建造
無(wú)塵車(chē)間墻面和天花板使用光滑、不產(chǎn)塵材料。資陽(yáng)10000級(jí)無(wú)塵車(chē)間建設(shè)
無(wú)塵車(chē)間環(huán)境的維持高度依賴(lài)于系統(tǒng)化、標(biāo)準(zhǔn)化且嚴(yán)格執(zhí)行的清潔與消毒程序。必須制定覆蓋所有區(qū)域(地面、墻面、天花板、設(shè)備表面、工作臺(tái)面、家具、工具等)的詳細(xì)清潔消毒計(jì)劃(CIP),明確規(guī)定清潔范圍、責(zé)任人員、使用的清潔劑和消毒劑種類(lèi)、濃度、作用時(shí)間、頻次(日常、周度、月度、深度清潔)、使用的無(wú)塵工具(如指定級(jí)別的抹布、拖把、清潔車(chē))以及方法(如單向擦拭、從上到下、從潔到污)。消毒劑應(yīng)選擇廣譜高效、低殘留、無(wú)腐蝕性、且輪換使用以避免微生物耐藥性。清潔劑需兼容材質(zhì)且無(wú)顆粒殘留。清潔過(guò)程本身需防止二次污染(如臟水潑濺、臟抹布反復(fù)使用)。清潔效果需通過(guò)目視檢查、表面微生物監(jiān)測(cè)、粒子計(jì)數(shù)監(jiān)測(cè)等手段進(jìn)行驗(yàn)證。清潔記錄必須完整可追溯。任何清潔規(guī)程的變更都需經(jīng)過(guò)驗(yàn)證。資陽(yáng)10000級(jí)無(wú)塵車(chē)間建設(shè)