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在進(jìn)行模型校準(zhǔn)時(shí)要依次確定用于校準(zhǔn)的參數(shù)和關(guān)鍵圖案，并建立校準(zhǔn)過(guò)程的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。校準(zhǔn)參數(shù)和校準(zhǔn)圖案的選擇結(jié)果直接影響校準(zhǔn)后光刻膠模型的準(zhǔn)確性和校準(zhǔn)的運(yùn)行時(shí)間，如圖4所示 [4]。準(zhǔn)參數(shù)包括曝光、烘烤、顯影等工藝參數(shù)和光酸擴(kuò)散長(zhǎng)度等光刻膠物理化學(xué)參數(shù)，如圖5所示 [5]。關(guān)鍵圖案的選擇方式主要包含基于經(jīng)驗(yàn)的選擇方式、隨機(jī)選擇方式、根據(jù)圖案密度等特性選擇的方式、主成分分析選擇方式、高維空間映射的選擇方式、基于復(fù)雜數(shù)學(xué)模型的自動(dòng)選擇方式、頻譜聚類選擇方式、基于頻譜覆蓋率的選擇方式等 [2]。校準(zhǔn)過(guò)程的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)通常使用模型預(yù)測(cè)值與晶圓測(cè)量值之間的偏差的均方根（RMS）。常見(jiàn)的有K折交叉驗(yàn)證，將數(shù)據(jù)集分為K個(gè)子集，輪流使用其中一個(gè)子集作為測(cè)試集，其余作為訓(xùn)練集。靜安區(qū)銷售驗(yàn)證模型平臺(tái)

驗(yàn)證模型是機(jī)器學(xué)習(xí)過(guò)程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟，旨在評(píng)估模型的性能，確保其在實(shí)際應(yīng)用中的準(zhǔn)確性和可靠性。驗(yàn)證模型通常包括以下幾個(gè)步驟：數(shù)據(jù)準(zhǔn)備：數(shù)據(jù)集劃分：將數(shù)據(jù)集劃分為訓(xùn)練集、驗(yàn)證集和測(cè)試集。訓(xùn)練集用于訓(xùn)練模型，驗(yàn)證集用于調(diào)整模型參數(shù)（如超參數(shù)調(diào)優(yōu)），測(cè)試集用于**終評(píng)估模型性能。數(shù)據(jù)預(yù)處理：包括數(shù)據(jù)清洗、特征選擇、特征縮放等，確保數(shù)據(jù)質(zhì)量。模型訓(xùn)練使用訓(xùn)練數(shù)據(jù)集對(duì)模型進(jìn)行訓(xùn)練，得到初始模型。根據(jù)需要調(diào)整模型的參數(shù)和結(jié)構(gòu)，以提高模型在訓(xùn)練集上的性能。靜安區(qū)銷售驗(yàn)證模型平臺(tái)避免過(guò)擬合：確保模型在驗(yàn)證集和測(cè)試集上的性能穩(wěn)定，避免模型在訓(xùn)練集上表現(xiàn)過(guò)好而在未見(jiàn)數(shù)據(jù)上表現(xiàn)不佳。

光刻模型包含光學(xué)模型和光刻膠模型，其中光刻膠模型描述了光刻膠曝光顯影過(guò)程中發(fā)生的物理化學(xué)反應(yīng)[1]。光刻膠模型可以為光刻膠的研發(fā)和光刻工藝的優(yōu)化提供指導(dǎo)。然而，由于模型中許多參數(shù)不可直接測(cè)量或測(cè)量較為困難，通常采用實(shí)際曝光結(jié)果來(lái)校準(zhǔn)模型，即光刻膠模型的校準(zhǔn)[2]。鑒于模型校準(zhǔn)的必要性，業(yè)界通常需要花費(fèi)大量精力用于模型校準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)與結(jié)果，如圖1所示 [3]。光刻膠模型的校準(zhǔn)的具體流程如圖2所示 [2]。光刻膠模型校準(zhǔn)主要包含四個(gè)部分：實(shí)驗(yàn)條件的對(duì)標(biāo)、光刻膠形貌的測(cè)量、模型校準(zhǔn)、模型驗(yàn)證。

極大似然估計(jì)法（ML）是結(jié)構(gòu)方程分析**常用的方法，ML方法的前提條件是變量是多元正態(tài)分布的。數(shù)據(jù)的非正態(tài)性可以通過(guò)偏度（skew）和峰度（kurtosis）來(lái)表示。偏度表示數(shù)據(jù)的對(duì)稱性，峰度表示數(shù)據(jù)平坦性的。LISREL中包含的估計(jì)方法有：ML（極大似然）、GLS（廣義**小二乘法）、WLS（一般加權(quán)**小二乘法）等，WLS并不要求數(shù)據(jù)是正態(tài)的。 [2]極大似然估計(jì)法（ML）是結(jié)構(gòu)方程分析**常用的方法，ML方法的前提條件是變量是多元正態(tài)分布的。數(shù)據(jù)的非正態(tài)性可以通過(guò)偏度（skew）和峰度（kurtosis）來(lái)表示。偏度表示數(shù)據(jù)的對(duì)稱性，峰度表示數(shù)據(jù)平坦性的。LISREL中包含的估計(jì)方法有：ML（極大似然）、GLS（廣義**小二乘法）、WLS（一般加權(quán)**小二乘法）等，WLS并不要求數(shù)據(jù)是正態(tài)的。 [2]使用測(cè)試集對(duì)確定的模型進(jìn)行測(cè)試，確保模型在未見(jiàn)過(guò)的數(shù)據(jù)上也能保持良好的性能。

模型檢測(cè)的基本思想是用狀態(tài)遷移系統(tǒng)(S)表示系統(tǒng)的行為，用模態(tài)邏輯公式(F)描述系統(tǒng)的性質(zhì)。這樣“系統(tǒng)是否具有所期望的性質(zhì)”就轉(zhuǎn)化為數(shù)學(xué)問(wèn)題“狀態(tài)遷移系統(tǒng)S是否是公式F的一個(gè)模型”，用公式表示為S╞F。對(duì)有窮狀態(tài)系統(tǒng)，這個(gè)問(wèn)題是可判定的，即可以用計(jì)算機(jī)程序在有限時(shí)間內(nèi)自動(dòng)確定。模型檢測(cè)已被應(yīng)用于計(jì)算機(jī)硬件、通信協(xié)議、控制系統(tǒng)、安全認(rèn)證協(xié)議等方面的分析與驗(yàn)證中，取得了令人矚目的成功，并從學(xué)術(shù)界輻射到了產(chǎn)業(yè)界。如果可能，使用外部數(shù)據(jù)集對(duì)模型進(jìn)行驗(yàn)證，以評(píng)估其在真實(shí)場(chǎng)景中的表現(xiàn)。楊浦區(qū)正規(guī)驗(yàn)證模型優(yōu)勢(shì)

評(píng)估模型性能：通過(guò)驗(yàn)證，我們可以了解模型在未見(jiàn)數(shù)據(jù)上的表現(xiàn)。這對(duì)于判斷模型的泛化能力至關(guān)重要。靜安區(qū)銷售驗(yàn)證模型平臺(tái)

指標(biāo)數(shù)目一般要求因子的指標(biāo)數(shù)目至少為3個(gè)。在探索性研究或者設(shè)計(jì)問(wèn)卷的初期，因子指標(biāo)的數(shù)目可以適當(dāng)多一些，預(yù)試結(jié)果可以根據(jù)需要?jiǎng)h除不好的指標(biāo)。當(dāng)少于3個(gè)或者只有1個(gè)（因子本身是顯變量的時(shí)候，如收入）的時(shí)候，有專門的處理辦法。數(shù)據(jù)類型絕大部分結(jié)構(gòu)方程模型是基于定距、定比、定序數(shù)據(jù)計(jì)算的。但是軟件（如Mplus）可以處理定類數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)要求要有足夠的變異量，相關(guān)系數(shù)才能顯而易見(jiàn)。如樣本中的數(shù)學(xué)成績(jī)非常接近（如都是95分左右），則數(shù)學(xué)成績(jī)差異大部分是測(cè)量誤差引起的，則數(shù)學(xué)成績(jī)與其它變量之間的相關(guān)就不***。靜安區(qū)銷售驗(yàn)證模型平臺(tái)

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