正壓漏孔指在一定氣源壓力下出氣口壓力為大氣壓力的條件下校準和使用的漏孔,代表性的漏孔有鹵素檢漏用鹵素標準漏孔(鹵素氣體漏率標準器),還有氫氣校準漏孔。該類漏孔目前應用場合和校準需求要高于一類真空漏孔。主要因為正壓檢漏往往更符合工件和產(chǎn)品的實際工作狀態(tài),越來越被重視。被檢容器內(nèi)壓力在1.013×105Pa,容器內(nèi)氣體分子多,壓力受溫度影響大。壓力的變化不正壓檢漏技術(shù)與真空檢漏技術(shù)相比,具有被檢件不用抽真空、工作狀態(tài)和檢漏狀態(tài)可保持一致等特點,同時也帶來了新的問題。標準漏孔在半導體制造檢漏中經(jīng)常使用。福州可調(diào)標準漏孔偏差
正壓標準漏孔,在正壓檢漏中,要考慮通過漏孔的質(zhì)量泄漏,更要考慮與環(huán)境的熱能交換。換言之,就是正壓檢漏及正壓漏孔校準受溫度的影響較為嚴重。而真空檢漏壓力一般在1Pa及以下,受溫度影響小。正壓檢漏往往需要在不同的壓力條件下進行,所以也必須對正壓漏孔在該條件下進行校準。而真空漏孔一般的校準條件是進口壓力為一個大氣壓,出口壓力為真空,狀態(tài)較為簡單。和真空檢漏一般使用氦氣不同,正壓檢漏往往可以使用氦氣、空氣、氮氣等氣體,所以需要用不同氣體對正壓漏孔進行校準。正是由于以上原因,對正壓漏孔的校準技術(shù)提出了新的、更高的要求,需要進一步開展研究工作,提出測量范圍寬,不確定度小的正壓漏孔校準方法,研制校準裝置。同時,真空漏孔和正壓漏孔的校準是不同壓力條件下的漏率校準,所以真空漏孔的校準技術(shù)也很值得借鑒。湖南標準漏孔定制標準漏孔使用后需清潔并妥善保存?zhèn)溆?。
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數(shù)量進行量化,而到達質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分,這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時,這個分流比會有變化,檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個點做出的擬合曲線很難做到符合全量程:例如一臺檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s,說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準確的,可能到E-9就很不準確。建議用2個標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行標定。事實上,包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的,而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標準漏孔進行標定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個接近該漏率的標準漏孔如3.00x10-8mbar.L/s,經(jīng)過校準的檢漏儀不需要自檢通過也能準確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購外置標準漏孔,盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率,東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標準漏孔。用戶可選用帶氣室的標準漏孔或開放式漏孔。
溫度對于標準漏孔的性能有著明顯的影響,多數(shù)的漏孔需在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)來使用,以保證泄漏率的穩(wěn)定性。部分高精度漏孔會配備溫度補償裝置,從而減少環(huán)境溫度波動的影響。標準漏孔的校準需要依托正規(guī)計量機構(gòu),通過與更高等級的標準裝置來比對,確定其實際泄漏率,并出具校準證明,確保量值的溯源性。長期存放的標準漏孔需注意防潮、防塵,避免通道堵塞或材料老化。使用前應檢查外觀是否完好,必要時進行重新校準,確保性能符合要求。標準漏孔在壓力容器檢漏中應用較多。
檢漏技術(shù)發(fā)展前景:目前,我們掌握的檢漏技術(shù)是完全可以滿足我們的生產(chǎn)需要的,對于檢漏儀的發(fā)展,更多的是向智能化、模塊化、集成化方向發(fā)展。隨著加工技術(shù)的進步和集成電路技術(shù)的發(fā)展,檢漏儀日趨輕便,甚至微型化。通訊技術(shù)的發(fā)展也使得對泄漏的狀態(tài)監(jiān)測成為可能,為了及時發(fā)現(xiàn)泄漏,預防嚴重泄漏事故的發(fā)生起也到了保障作用。同時現(xiàn)代科技的發(fā)展需求也向檢漏技術(shù)提出了精度和靈敏度更高,更加便捷,更加快速、成本更低的要求。標準漏孔使用時需緩慢調(diào)節(jié)壓力避免沖擊 。無錫可調(diào)標準漏孔的價格
標準漏孔能驗證各類檢漏方法的可靠性。福州可調(diào)標準漏孔偏差
檢漏儀內(nèi)置標準漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一個組成部分,與檢漏儀的精確度息息相關(guān), 檢漏儀器在檢測的過程中是用來校準其精度的一種標準漏率。 通過來比較檢漏儀對這些標準漏孔進行檢測時的響應值與實際尺寸上的差異, 可以評估檢漏儀的檢測準確度和它的穩(wěn)定性,在檢漏儀的檢測過程中, 由于受到了環(huán)境、物質(zhì)等各種因素的影響,檢漏儀的檢測結(jié)果可能會出現(xiàn)誤差。此時若采用標準漏孔進行校準, 便可以提高檢測儀器的準確性和可靠性。福州可調(diào)標準漏孔偏差