十萬級(jí)環(huán)境監(jiān)測顆粒物

中源綠凈針對食品無菌灌裝車間的潔凈度監(jiān)測方案，聚焦于生產(chǎn)全流程的潔凈管控。應(yīng)用場景：食品無菌灌裝潔凈車間。按照 GB 14881 標(biāo)準(zhǔn)要求，在 C 級(jí)潔凈灌裝區(qū)部署監(jiān)測終端，實(shí)時(shí)監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、空氣潔凈度等級(jí)、設(shè)備表面微生物及壓差（≥15Pa）。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù)，表面微生物檢測時(shí)間從 48 小時(shí)縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率 98.6%。通過與灌裝生產(chǎn)線聯(lián)動(dòng)，當(dāng)潔凈度不達(dá)標(biāo)時(shí)自動(dòng)暫停灌裝作業(yè)并啟動(dòng)消毒程序，使食品無菌合格率提升至 99.97%。已服務(wù)于伊利、光明乳業(yè)等企業(yè)，助力其通過食品安全管理體系認(rèn)證，潔凈度監(jiān)測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測方面，為 30 + 企業(yè)提供定制化監(jiān)測設(shè)備，滿足特殊需求！十萬級(jí)環(huán)境監(jiān)測顆粒物

中源綠凈為半導(dǎo)體晶圓切割潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與濕度的 管控。應(yīng)用場景：晶圓切割與劃片潔凈車間。針對 100 級(jí)切割區(qū)，部署防靜電監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、車間濕度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割區(qū)溫度（23±1℃）及靜電電壓（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子計(jì)數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，配合濕度動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)算法，可將濕度波動(dòng)控制在 ±3% 以內(nèi)。系統(tǒng)支持與切割設(shè)備聯(lián)動(dòng)，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)暫停作業(yè)，使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國際、華虹半導(dǎo)體應(yīng)用，符合 SEMI F47 電壓標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。萬級(jí)車間環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器使用步驟中源綠凈為 35 + 檔案館做環(huán)境監(jiān)測，紙張保存壽命延長 5 年，資料更安全！

中源綠凈在電子元器件組裝無塵車間環(huán)境監(jiān)測中，構(gòu)建了微粒 - 靜電 - 氣流多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場景：電子元器件無塵組裝車間。針對 1000 級(jí)組裝區(qū)，采用每 3 平方米 1 個(gè)監(jiān)測終端的布局，實(shí)時(shí)監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，數(shù)據(jù)更新周期 3 秒）、靜電電壓（量程 - 1000~+1000V，精度 ±10V）、氣流速度（0.2~0.4m/s，精度 ±0.02m/s）及溫濕度（溫度 20~25℃，濕度 40%~60% RH）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小檢測粒徑達(dá) 0.3μm，配合非接觸式靜電傳感器，響應(yīng)時(shí)間均≤1 秒。通過與流水線聯(lián)動(dòng)控制，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部凈化裝置，使元器件焊接不良率下降 45%。已在華為終端、小米電子等企業(yè)應(yīng)用，符合 IPC-A-610 電子組件標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.91%。

中源綠凈針對半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測方案，聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級(jí)刻蝕區(qū)，配置防腐蝕監(jiān)測終端，可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境，實(shí)時(shí)監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min）、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封裝傳感器，檢測精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動(dòng)控制，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部排風(fēng)，使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務(wù)于華虹半導(dǎo)體、士蘭微等企業(yè)，符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度監(jiān)測準(zhǔn)確率 99.92%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案，讓 65 + 速凍食品廠溫度監(jiān)控準(zhǔn)，解凍后品質(zhì)更佳！

中源綠凈在光伏組件層壓無塵車間環(huán)境監(jiān)測中，推出了粉塵 - 溫度 - 濕度多維度方案。應(yīng)用場景：光伏組件層壓無塵車間。針對 1000 級(jí)層壓區(qū)，配置耐高溫監(jiān)測終端（可耐受 60℃環(huán)境），同步監(jiān)測 0.3μm 粉塵濃度（檢測下限 0.001mg/m3）、層壓溫度（130~150℃，精度 ±1℃）、相對濕度（30%~50% RH，精度 ±3%）及氣壓。采用 β 射線吸收法測塵技術(shù)，響應(yīng)時(shí)間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣間隔 5 秒 / 次。系統(tǒng)對接層壓機(jī)控制系統(tǒng)，溫濕度異常時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)，使光伏組件層壓氣泡不良率下降 38%。已在晶澳太陽能、天合光能等應(yīng)用，符合 IEC 61215 光伏組件標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.86%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案，助力 30 + 食品加工企業(yè)符合國家標(biāo)準(zhǔn)，減少食品召回！蘇州潔凈室環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測方面，為 30 + 學(xué)校提供空氣質(zhì)量檢測，保障師生健康！十萬級(jí)環(huán)境監(jiān)測顆粒物

中源綠凈為半導(dǎo)體離子注入潔凈室定制的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了高能環(huán)境下的監(jiān)測可靠性。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體離子注入潔凈車間。依據(jù) SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)，在 100 級(jí)注入?yún)^(qū)部署耐輻射監(jiān)測終端，可承受高能離子輻射環(huán)境，實(shí)時(shí)監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度、注入?yún)^(qū)溫度（20~25℃±0.5℃）及靜電電位。采用防輻射涂層處理傳感器，在輻射環(huán)境下檢測精度衰減≤5%/ 年。通過與離子源設(shè)備聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度異常時(shí)自動(dòng)優(yōu)化束流參數(shù)，使離子注入摻雜不均勻率下降 42%。已在中芯寧波、聯(lián)電等企業(yè)應(yīng)用，通過半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證，監(jiān)測數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。十萬級(jí)環(huán)境監(jiān)測顆粒物