涂膠顯影機(jī)的工作原理是什么？?

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無(wú)錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司2025-08-14

通過(guò)在高速旋轉(zhuǎn)的晶圓硅片上滴注光刻膠液，利用離心力使膠液均勻涂覆在硅片表面，形成緊密粘附且均勻分布的膠層。顯影時(shí)則是通過(guò)旋涂顯影液充分反應(yīng)后，再用超純水清洗干凈，把晶圓上曝光烘烤后的圖形顯影出來(lái)。?

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