金屬薄膜真空計(jì)性能特點(diǎn)高靈敏度:金屬薄膜真空計(jì)通常具有較高的靈敏度,能夠準(zhǔn)確測(cè)量微小的壓力變化。寬測(cè)量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質(zhì)和厚度,但金屬薄膜真空計(jì)通常具有較寬的測(cè)量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環(huán)境。穩(wěn)定性好:在適當(dāng)?shù)木S護(hù)下,金屬薄膜真空計(jì)具有良好的穩(wěn)定性,能夠長時(shí)間保持測(cè)量精度??刮廴灸芰?qiáng):相對(duì)于某些其他類型的真空計(jì),金屬薄膜真空計(jì)對(duì)污染的敏感性較低,能夠在一定程度上抵抗污染物的干擾。電容真空計(jì)的工作原理是怎樣的?天津大氣壓真空計(jì)多少錢
1. 機(jī)械式真空計(jì)機(jī)械式真空計(jì)通過物理形變或液柱高度差來測(cè)量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計(jì)原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低。缺點(diǎn):精度較低,不適用于高真空。應(yīng)用:實(shí)驗(yàn)室粗真空測(cè)量。(2)布爾登壓力計(jì)原理:利用金屬管(布爾登管)在壓力作用下的形變來測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:大氣壓到約 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、耐用。缺點(diǎn):精度有限,不適用于高真空。應(yīng)用:工業(yè)粗真空和低真空測(cè)量。南京金屬電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)廠家真空測(cè)量的特點(diǎn)有哪些?
渦輪分子泵的工作原理是在電機(jī)的帶動(dòng)下,動(dòng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)(動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度,一般為150~400米/秒)。在分子流區(qū)域內(nèi),氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞,動(dòng)量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。啟動(dòng)快:渦輪分子泵能夠在短時(shí)間內(nèi)迅速啟動(dòng),并達(dá)到穩(wěn)定的抽氣狀態(tài)??股渚€照射:渦輪分子泵能夠抵抗各種射線的照射,適用于高能加速器等輻射環(huán)境下的真空抽取。耐大氣沖擊:渦輪分子泵具有較強(qiáng)的耐大氣沖擊能力,能夠在氣壓突變的環(huán)境中保持穩(wěn)定的抽氣性能。無氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng):渦輪分子泵在工作過程中不會(huì)存儲(chǔ)氣體,也不會(huì)產(chǎn)生解吸效應(yīng),因此能夠獲得清潔的超高真空。無油蒸氣污染:渦輪分子泵采用無油潤滑系統(tǒng),避免了油蒸氣對(duì)真空環(huán)境的污染。
真空泵的工作原理真空泵通過機(jī)械或物理方式移除氣體分子。旋片泵通過旋轉(zhuǎn)葉片壓縮氣體排出;渦輪分子泵利用高速葉片撞擊氣體分子;低溫泵則通過冷卻表面吸附氣體。干泵無油污染,適合潔凈環(huán)境;擴(kuò)散泵通過油蒸氣噴射帶走氣體,需配合冷阱使用。選擇泵需考慮極限真空、抽速和氣體類型。4. 真空在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用芯片制造需10?? Pa超高真空環(huán)境。光刻機(jī)通過真空避免空氣散射紫外線;離子注入在真空中加速摻雜原子;分子束外延(MBE)逐層生長晶體。真空減少雜質(zhì)污染,確保納米級(jí)精度。一臺(tái)EUV光刻機(jī)包含數(shù)十個(gè)真空腔室,真空穩(wěn)定性直接影響5nm以下制程良率。皮拉尼真空計(jì)的主要結(jié)構(gòu)包括哪些部分?
(1)利用氣體熱學(xué)特征類真空計(jì)通過測(cè)量氣體分子在真空中的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)或動(dòng)力學(xué)效應(yīng)來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來測(cè)量真空度。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí),熱絲的熱傳導(dǎo)性能會(huì)受到影響,進(jìn)而導(dǎo)致電阻發(fā)生變化。通過測(cè)量電阻的變化,可以推算出真空度的數(shù)值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測(cè)量范圍寬等特點(diǎn)。b)熱電偶規(guī)利用熱電效應(yīng)進(jìn)行真空度測(cè)量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢(shì)與周圍氣體壓力的關(guān)系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢(shì)也會(huì)相應(yīng)改變,從而提供關(guān)于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作便捷等特點(diǎn)。真空計(jì)的讀數(shù)通常是不變的,這是因?yàn)樗鼈兺ǔJ褂靡粋€(gè)固定的參考?jí)毫硇?zhǔn)儀器。上海皮拉尼真空計(jì)生產(chǎn)廠家
溫度對(duì)皮拉尼真空計(jì)測(cè)量結(jié)果有何影響?天津大氣壓真空計(jì)多少錢
皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。根據(jù)測(cè)量方式的不同,皮拉尼真空計(jì)可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過加熱燈絲的電流保持恒定。當(dāng)真空壓力改變時(shí),燈絲的溫度會(huì)發(fā)生變化,從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來測(cè)量,并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當(dāng)真空壓力變化時(shí),燈絲的溫度和電阻值也會(huì)相應(yīng)變化。通過測(cè)量通過燈絲的電流變化,可以間接測(cè)量真空壓力。天津大氣壓真空計(jì)多少錢