用激光劃線技術(shù)進(jìn)行劃片,把激光束聚焦在硅片表面,產(chǎn)生高溫使材料汽化而形成溝槽。通過調(diào)節(jié)脈沖重疊量可精確控制刻槽深度,使硅片很容易沿溝槽整齊斷開,也可進(jìn)行多次割劃而直接切開。由于激光被聚焦成極小的光斑,熱影響區(qū)極小,切劃50μm深的溝槽時(shí),在溝槽邊25μm的地方溫升不會(huì)影響有源器件的性能。激光劃片是非接觸加工,硅片不會(huì)受機(jī)械力而產(chǎn)生裂紋。因此可以達(dá)到提高硅片利用率、成品率高和切割質(zhì)量好的目的。還可用于單晶硅、多晶硅、非晶硅太陽能電池的劃片以及硅、鍺、砷化稼和其他半導(dǎo)體襯底材料的劃片與切割。利用激光直寫技術(shù),在基板上制備納米級(jí)電路和傳感器結(jié)構(gòu)。珠海激光精密加工方法
激光精密加工技術(shù)主要有以下獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn):①使用激光精密加工,生產(chǎn)效率高,質(zhì)量可靠,經(jīng)濟(jì)效益。②可以通過透明介質(zhì)對(duì)密閉容器內(nèi)的工件進(jìn)行各種加工;在惡劣環(huán)境或其他人難以接近的地方,可用機(jī)器人進(jìn)行激光加工。③激光加工過程中無“刀具”磨損,無“切削力”作用于工件。④可以對(duì)多種金屬、非金屬加工,特別是可以加工高硬度、高脆性及高熔點(diǎn)的材料。⑤激光束易于導(dǎo)向、聚焦實(shí)現(xiàn)作各方向變換,極易與數(shù)控系統(tǒng)配合、對(duì)復(fù)雜工件進(jìn)行加工,因此它是一種極為靈活的加工方法。南寧五軸激光精密加工細(xì)節(jié)決定成敗,激光加工注重每個(gè)細(xì)節(jié)。
激光精密加工設(shè)備可以廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:1.精密模具制造:激光精密加工可以實(shí)現(xiàn)高精度、高效率的模具制造,如汽車模具、家電模具、醫(yī)療器械模具等。2.航空航天領(lǐng)域:激光精密加工可以加工各種形狀和復(fù)雜度的航空零部件,如渦輪葉片、航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件、飛機(jī)機(jī)身等。3.醫(yī)療器械制造:激光精密加工可以加工各種醫(yī)療器械零部件,如手術(shù)器械、醫(yī)用導(dǎo)管等。4.精密儀器制造:激光精密加工可以加工各種精密儀器零件,如光學(xué)元件、儀器儀表等。5.電子電器制造:激光精密加工可以加工各種電子電器零件,如手機(jī)外殼、電視機(jī)外殼、電腦主機(jī)外殼等。6.精密零件制造:激光精密加工可以加工各種精密零件,如軸承、齒輪、軸等。7.汽車零部件加工:激光精密加工可以加工各種汽車零部件,如發(fā)動(dòng)機(jī)缸體、曲軸、連桿、變速器殼體等??傊?,激光精密加工設(shè)備可以在多個(gè)領(lǐng)域中實(shí)現(xiàn)高精度、高效率的加工,提高產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
有效、穩(wěn)定、可靠、廉價(jià)的激光器是精密加工推廣應(yīng)用的前提,激光精密加工的發(fā)展趨勢(shì)之一就是加工系統(tǒng)小型化。近年來,二極管泵浦激光器發(fā)展十分迅速,它具有轉(zhuǎn)換效率高、工作穩(wěn)定性好、光束質(zhì)量好、體積小等一系列優(yōu)點(diǎn),很有可能成為下一代激光精密加工的主要激光器。加工系統(tǒng)集成化是激光精密加工發(fā)展的又一重要趨勢(shì)。將各種材料的激光精密加工工藝系統(tǒng)化、完善化;開發(fā)用戶界面友好、適合激光精密加工的專門用的控制軟件,并且輔之以相應(yīng)的工藝數(shù)據(jù)庫;將控制、工藝和激光器相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)光、機(jī)、電、材料加工一體化,是激光精密加工發(fā)展的必然趨勢(shì)激光工藝,推動(dòng)工業(yè)制造升級(jí)。
激光精密加工是一種利用高能激光束對(duì)材料進(jìn)行微細(xì)加工的技術(shù)。通過高精度控制系統(tǒng),將激光束精確作用于工件表面,實(shí)現(xiàn)高精度切割、焊接、熔覆、雕刻等功能。相較于傳統(tǒng)加工方法,激光精密加工具有無需刀具、加工速度快、精度高、熱影響區(qū)小等優(yōu)點(diǎn),可大幅提高生產(chǎn)效率和降低生產(chǎn)成本。激光精密加工技術(shù)以其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,正逐漸成為工業(yè)制造領(lǐng)域的加工手段。它解決了傳統(tǒng)加工方法在復(fù)雜結(jié)構(gòu)、高精度需求、高效生產(chǎn)以及環(huán)保節(jié)能等方面的難題,滿足了市場(chǎng)的多樣化、個(gè)性化需求。隨著科技的進(jìn)步和市場(chǎng)的發(fā)展,我們有理由相信,激光精密加工將在未來工業(yè)制造領(lǐng)域發(fā)揮更大的作用,為社會(huì)的發(fā)展和進(jìn)步做出重要貢獻(xiàn)。精密鉆孔工藝可加工直徑小于 0.1mm 的微孔,孔壁光滑。南寧五軸激光精密加工
采用激光熔覆技術(shù),在零部件表面制備納米級(jí)強(qiáng)化涂層。珠海激光精密加工方法
激光聚焦后,功率密度高,在高功率器件焊接時(shí),深寬比可達(dá)5:1,比較高可達(dá)10:1??珊附与y熔材料如鈦、石英等,并能對(duì)異性材料施焊,效果良好。便如,將銅和鉭兩種性質(zhì)截然不同的材料焊接在一起,合格率高。也可進(jìn)行微型焊接。激光束經(jīng)聚焦后可獲得很小的光斑,且能精密定位,可應(yīng)用于大批量自動(dòng)化生產(chǎn)的微、小型元件的組焊中,例如,集成電路引線、鐘表游絲、顯像管電子組裝等由于采用了激光焊,不僅生產(chǎn)效率大、高,且熱影響區(qū)小,焊點(diǎn)無污染,有效提高了焊接的質(zhì)量。珠海激光精密加工方法