廣東天馬用的蝕刻液蝕刻液主要作用

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-09-01

且過濾部件能將內(nèi)部的過濾板進(jìn)行拆卸更換,有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,連接構(gòu)件,連接構(gòu)件設(shè)置在攪拌倉的底部,連接構(gòu)件與攪拌倉固定連接,連接構(gòu)件能將裝置主體內(nèi)部的兩個(gè)構(gòu)件進(jìn)行連接并固定,且在將兩構(gòu)件進(jìn)行連接或拆卸的時(shí)候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,有效的提高了裝置連接的實(shí)用性。附圖說明圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本實(shí)用新型的過濾部件剖視圖;圖3為本實(shí)用新型的連接構(gòu)件剖視圖;圖4為本實(shí)用新型的內(nèi)部構(gòu)件連接框架圖。圖中:1、裝置主體,2、支撐腿,3、電源線,4、單片機(jī),5、控制器,6、防滑紋,7、密封閥門(z45x-16),8、收集倉,9、過濾部件,10、常閉式密封電磁閥(zca-15biii02-10),11、連接構(gòu)件,12、海綿層,13、攪拌電機(jī)(5ik),14、去離子水儲罐,15、磷酸儲罐,16、醋酸儲罐,17、硝酸儲罐,18、陰離子表面活性劑儲罐,19、聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,20、氯化鉀儲罐,21、硝酸鉀儲罐,22、密封環(huán),23、攪拌倉,24、滑動蓋,25、收縮彈簧管,26、過濾板,27、螺紋管,28、活動軸,29、密封軟膠層。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖。蝕刻液可以蝕刻什么樣的金屬;廣東天馬用的蝕刻液蝕刻液主要作用

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技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題即在于提供一種擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機(jī)的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產(chǎn)品損耗的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì),有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異?,F(xiàn)象,確實(shí)達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)致的基板刮傷或破片風(fēng)險(xiǎn)等主要優(yōu)勢。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段如下所述。為了達(dá)到上述的實(shí)施目的,本實(shí)用新型提出一種擋液板結(jié)構(gòu),適用于一濕式蝕刻機(jī),擋液板結(jié)構(gòu)包括有一***擋板、一與***擋板接合的第二擋板,以及一與第二擋板接合的第三擋板,其主要特征在于:第二擋板具有復(fù)數(shù)個(gè)貫穿第二擋板且錯(cuò)位設(shè)置的宣泄孔。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中***擋板與第二擋板呈正交設(shè)置,且第二擋板與第三擋板呈正交設(shè)置。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中***擋板、第二擋板與第三擋板圍設(shè)成一凹槽的態(tài)樣。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中第二擋板的長度介于10厘米(centimeter,cm)至15厘米(cm)之間。廣東市面上哪家蝕刻液生產(chǎn)優(yōu)先蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。

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本發(fā)明涉及銅蝕刻液技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝。背景技術(shù):高精細(xì)芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結(jié)構(gòu)所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產(chǎn)物親和、友好、環(huán)境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點(diǎn)。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機(jī)酸/有機(jī)酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個(gè)部分。由于銅蝕刻液中各物質(zhì)的反應(yīng)為放熱反應(yīng),體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產(chǎn)過程中需要保證生產(chǎn)安全。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于,克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷,提供一種銅蝕刻液大規(guī)模量產(chǎn)的生產(chǎn)工藝,該生產(chǎn)工藝溫控嚴(yán)格,生產(chǎn)過程中安全性高。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進(jìn)行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;第二步:配制和準(zhǔn)備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應(yīng)的原料罐中,經(jīng)過過濾器循環(huán)過濾,備用。

制備裝置主體1的內(nèi)部中間部位活動連接有高效攪拌裝置2,制備裝置主體1的一側(cè)中間部位嵌入連接有翻折觀察板4,制備裝置主體1的底端固定連接有裝置底座5,裝置底座5的內(nèi)部底部固定連接有成品罐6,裝置底座5的頂端一側(cè)固定連接有鹽酸裝罐7,裝置底座5的頂端另一側(cè)固定連接有硝酸裝罐8,高效攪拌裝置2的內(nèi)部頂部中間部位活動連接有旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12,高效攪拌裝置2的內(nèi)部頂部兩側(cè)活動連接有震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14的頂端固定連接有運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13,運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13的頂端電性連接有控制面板15,高效攪拌裝置2的內(nèi)部中間部位固定連接有致密防腐桿16,致密防腐桿16的內(nèi)部內(nèi)側(cè)貫穿連接有攪動孔17,鹽酸裝罐7的內(nèi)部一側(cè)嵌入連接有嵌入引流口22,嵌入引流口22的一端固定連接有負(fù)壓引流器21,負(fù)壓引流器21的一端固定連接有注入量控制容器18,注入量控制容器18的內(nèi)部內(nèi)側(cè)固定連接有注入量觀察刻度線19,注入量控制容器18的一側(cè)嵌入連接有限流銷20。推薦的,翻折觀察板4的內(nèi)部頂部活動連接有觀察窗翻折滾輪401,觀察窗翻折滾輪401的底端活動連接有內(nèi)嵌觀察窗402,該裝置在進(jìn)行制備時(shí),具有一定的危險(xiǎn)性,工作人員無法直接對其內(nèi)部的運(yùn)行狀況進(jìn)行很好的實(shí)時(shí)查看,通過設(shè)置內(nèi)嵌觀察窗402。維信諾用的哪家的蝕刻液?

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內(nèi)部頂部兩側(cè)的震蕩彈簧件14,震蕩彈簧件14頂端的運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13,運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13頂端的控制面板15,內(nèi)部中間部位的致密防腐桿16和致密防腐桿16內(nèi)部內(nèi)側(cè)的攪動孔17共同組合而成,由于鹽酸硝酸具有較強(qiáng)的腐蝕性,常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕,影響蝕刻液的質(zhì)量,用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進(jìn)行攪拌,成本過高,且混合的效果不好,通過設(shè)置高效攪拌裝置2,該裝置通過運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13驅(qū)動旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12,使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12帶動高效攪拌裝置2進(jìn)行旋轉(zhuǎn)搖勻,同時(shí)設(shè)置的震蕩彈簧件14可通過驅(qū)動對高效攪拌裝置2進(jìn)行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內(nèi)部的蝕刻液通過內(nèi)置的致密防腐桿16,致密防腐桿16內(nèi)部的攪動孔17能夠使蝕刻液不斷細(xì)化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉,攪拌均勻效果較好。推薦的,注入量精確調(diào)配裝置是由鹽酸裝罐7內(nèi)部一側(cè)的嵌入引流口22,嵌入引流口22一端的負(fù)壓引流器21,負(fù)壓引流器21一端的注入量控制容器18,注入量控制容器18內(nèi)部內(nèi)側(cè)的注入量觀察刻度線19和注入量控制容器18一側(cè)的限流銷20共同組合而成,現(xiàn)有的制備裝置無法對相關(guān)原料的注入量進(jìn)行精確控制,無法很好的保證蝕刻液制備的純度,通過設(shè)置注入量精確調(diào)配裝置。蝕刻液,讓您的產(chǎn)品更精美,細(xì)節(jié)更完美。安徽銅鈦蝕刻液蝕刻液

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如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,mm)。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列方式。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔具有一***壁面,以及一第二壁面,且第二擋板具有一下表面,當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),宣泄孔的上孔徑小于下孔徑。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時(shí),宣泄孔由第二擋板的下表面朝向上表面的方向漸縮。此外,為了達(dá)到上述的實(shí)施目的,本實(shí)用新型另提出一種蝕刻設(shè)備,設(shè)置于一濕式蝕刻機(jī)的一槽體內(nèi),蝕刻設(shè)備至少包括有一如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)、一基板、一輸送裝置,以及一風(fēng)刀裝置;基板設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的下方;輸送裝置設(shè)置于基板的下方,輸送裝置包括有至少一滾輪,其中滾輪與基板接觸以運(yùn)行基板;風(fēng)刀裝置設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的一端部,風(fēng)刀裝置包括有一設(shè)置于基板上方的***風(fēng)刀。廣東天馬用的蝕刻液蝕刻液主要作用